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クリーンルーム内の清浄度レベルが設計清浄度を達成しているか確認 |
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適正に校正されているパーティクルカウンターを使用 |
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設計値通りの清浄度を得ることで、室内の清浄度や製品品質の維持に繋がる |
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HEPAフィルターに漏洩がないことを確認 |
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漏洩がなければ、HEPAフィルターの適切な設置の有無、欠損の有無を確認できる |
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適正に校正されているパーティクルカウンターを使用 |
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試験用のダストを発生させ、HEPAフィルターの枠周りと濾材面を一定時間走査することで漏洩のないことをより確証高いものとする |
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各室の換気回数が基準通りに確保されているか確認 |
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クリーンルーム内の換気や汚染物質除去に必要な風量が得られているか確認 |
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フィルター面や各吹出し口での風量及び風速にばらつきがないかを確認 |
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微細なミストを発生させることでクリーンルーム内の気流の流れを確認 |
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室間気流を確認することで、適切に室間差圧が保たれているか確認 |
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制御対象空間での温湿度レベルが規定範囲内であることを確認 |
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温湿度を適正に保つことで、製品品質や製造能率の維持をはかる |
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温湿度が適正でない場合の物質の膨張・圧縮、硬化・軟化や設備機器の故障・不具合を回避 |
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クリーンルーム以外でも様々な測定業務を実施 |
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浮遊落下菌を採取し、空気中の細菌濃度を分析及び評価 |
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ホルムアルデヒド、二酸化炭素濃度、臭気測定など多岐に渡る測定 |
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